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全會自動晶圓電極臺SKD3000 全半自動晶圓電極臺SKD3000是的一款主要用于8/12inch LSI（大經營面積整合控制電路系統）和VLSI（超大型經營面積整合控制電路系統）晶圓檢查的電極臺。
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物品描訴

闡述：

全手動晶圓電極臺SKD3000是一類于8/12inch LSI（大大小集成型系統線路）和VLSI（太大大小集成型系統線路）晶圓測試儀的測試探針臺。

 

優勢：性能：

1、高表面粗糙度檢測器臺測式主的X/Y軸的絕導航定位表面粗糙度會達±2μm；

2、高 剛性軌道Z/θ軸能保證 Chuck長期限固定檢驗；

3、保證自然裝料特點表，有著測試測試探針與Pad自然對位特點表。使用獨立空間的光纖激光切割機的系統化使測試測試探針卡上大多數的針尖還可以自然精細地扎在以及的Pad上；

4、設施參數值和正常運行情形訊息等統計數據能能獨立群發或接收入到固態盤和外表工控機設計，簡單即時看看和追朔了解。

 

產品參數年紀：

數字序號 該項目 相關內容 備注
1 機臺長寬比及體重 厚度（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 容量 約2.2T  
3 晶圓長寬比尺寸規格 晶圓直徑約 8"/12"  
4 晶圓料厚 150~2200μm  
5 層厚差別 ≤±50μm  
6 Die外形尺寸 0.2~100mm  
7 軟件測試方向上 測試英文依次 X/Y方問持續監測  
8

θ

 可調結超范圍 ±5°  
9 判斷率 0.00007°  
10 X/Y軸 計算精度 ≤±2μm  
11 明顯的速度 250mm/s  
12 偵測旅行路線 ≥±160mm  
13 判別率 0.1μm  
14 Z軸 精確 ≤±2μm  
15 最好進程 50mm/s  
16 日程 ≥80mm  
17 判定率 0.1μm  
18 OD領域 0~500μm  
19 Index Time 循壞時刻 230ms（6mm三歲的Die Z升降機0.5mm）  
20 預對著 有目的度 弧度≤±0.5°，主區域≤0.2mm  
21 觸屏屏 規格型號 15Inch五線電容式  
22 大感應電流公測 電壓電流區間 0~800A 標配
23 高壓變壓器測試英文 電阻值空間 0~3000V 標準配置
24 的高高低溫測驗 溫度表位置 -60~200℃ 加裝音響
25 控溫計算精度 ±0.1℃
26 環境溫度不穩界定性 0.1℃
27 攝氏度粗糙性 ≤100°C時≤+0.5°C
＞100°C時＜+0.5%
 
對應貨品