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SKD2000 全自然晶圓探頭臺 可用：6inch、8inch,LSI(新一輪較結合式三極管)和VLSI(超新一輪較結合式三極管)等晶圓自測。
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企業產品陳述

適用范圍：

不適主要用于6inch、8inch,LSI(廣泛性ibms電源集成運放)和VLSI(超廣泛性ibms電源集成運放)等晶圓檢查。

 

性能的規格：

項目編號 建設項目 相關內容 自己的名字
1 晶圓尺碼技術參數 晶圓直徑 6/8寸  
2 晶圓鋼板厚度 150~1000μm  
3 板厚偏移 ≤+50μm  
4 Die圖片尺寸 0.25~100mm  
5 Index Time 反復時間間隔 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 高精準度 ≤+2μm  
7 較大 運行速度 250mm/s  
8 試探行程英文 ≥±120mm  
9 辨別好壞率 0.1μm  
10 Z軸 精密度 ≤+2μm  
11 較大速度慢 50mm/s  
12 往返 ≥47mm  
13 鑒別率 0.1μm  
14 θ 可調低區間 ±5°  
15 鑒別率 0.00007°  
16 廠務條件 電阻值 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管子規格ф8  
18 真空氣質量源 -80~-100KPa 管道直徑ф6  
19 整體 圖片尺寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 含量 1500Kg  
21 大直流電自測 直流電壓區間 0~800A 選用
22 髙壓測式 輸出功率區域 0~3000V 標配
23 上下溫測試 工作溫度位置 -60~200℃ 標準配置
24 控溫表面粗糙度 ±0.1℃
25 工作溫度固確定 0.1℃
26 水溫一致性

≤100℃時≤+0.5℃

>100℃時<±0.5%
     
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