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半導體設備中的Sorters是甚么？
2026-03-20 15:33

Sorters（分選機）是半導種植加工過程中中不得或缺的至關重要機，基本使用于晶圓的裝卸、分選和經營，以保證種植程序的高效、性價比最高與間斷性性。下是管于Sorters的詳細完整推薦：

1. Sorters的定義與功能
Sorters是一種自動化設備，用于對晶圓進行分類和篩選。它們能夠根據晶圓的參數（如大小、電性能、光學性能等）進行分選，并確保每個晶圓的品質符合生產要求。Sorters的主要功能包括：
- 晶圓的上下線、制程前分批、制程后合并、制程間倒片。
- 產品出廠校驗、排序、料盒交換等。


2. Sorters的管理的本質結構件

Sorters由多個關鍵部件組成，包括：
Load port（接口模塊）：用于晶圓的進出，可與晶圓廠的物料傳輸系統集成。
機械臂（Robot）：用于抓取和搬運晶圓，確保晶圓在設備內部的精確移動。
晶圓抓手（End effector）：通過真空或夾持方式固定晶圓，保證晶圓在移動中的穩定性。
預對準器（Aligner）：使用LED照明和圖像識別傳感器，精確檢測晶圓邊緣和Notch槽位置。
控制系統：協調和控制各個部件的運行，實現晶圓的自動分選和分類。

3. Sorters的應用
Sorters廣泛應用于半導體制造的多個環節，包括：
晶圓制造前的準備階段：負責晶圓的裝載和卸載。
光刻、刻蝕和離子注入過程：確保晶圓在不同加工站之間的精確傳輸。
清洗和檢測過程：提高清洗效率和檢測精度。
封裝和后道處理：將晶圓轉移到封裝設備中，進行最終的質量控制。

4. Sorters的重要性
Sorters在半導體制造中扮演著重要角色：
提高效率：通過自動化操作，減少人工干預，提高生產效率。
保證質量：確保晶圓在潔凈室環境中的清潔度和精確性。
優化流程：通過與生產線其他設備的集成，實現數據共享和流程優化。

肯定，Sorters是半導體器件材料開發中不要或缺的機器設備，它能夠 自己化和自動化化的處里方案，切實有效保障了晶圓的高效、性價比最高分選和管理系統，為半導體器件材料行業中的優效果制造展示了關鍵性有效保障。

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